ハイレゾビュー 250mm×200mmという広域な試料像の取得を可能にし、更にその全域に渡り20µm解像度を保つことにより、高い位置決め精度を確保する技術を実現しました。

■位置指定 広域試料像（左）上のどの場所でも、マウスホイールを回すだけで、基板上の部品番号を確認できるほど、デジタルズームすることが可能です。ズーム倍率は12段階あり自由に操作可能です。

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オートアプローチ 上面照射タイプの蛍光X線分析装置では手動で高さ調整行われておりましたが、SEA6000VXはレーザーセンサーを用いた「自動サンプル高さ測定」の結果を元に自動で最接近させるオートアプローチ機能を実現しました。これにより操作性の向上はもちろん、操作ミスによる装置・サンプルの破損を防ぎます。 ※特許出願中

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高精度重ね合わせ機能 テレセントリック光学系と高精度XYステージの採用により、試料像とマッピング像とが完全に重ね合わさることで、広い範囲にわたって高精度な解析が可能となりました。非テレセントリック系レンズでは、凹凸のある試料を測定する場合、試料像で指定したポイントとマッピング像のポイントが一致せず解析が非常に困難でした。

試料像とマッピング像を重ね合わせることで、目的元素の含有箇所の特定が容易になりました。重ね合わせの位置精度は、100µm以内を実現しています。 試料像との重ね合わせは、最大3元素まで可能であり、重ね合わせの順序を変更することも可能です。また、重ね合わせ像の半透明表示や色合い調整などの豊富なツールを備え、解析能力を大幅に向上しました。

	■高精度重ね合わせ機能によるPｂ解析例
図1:Pbを最表面に表示した場合   図2: Snを最表面に表示した場合
図1から、A、B両方にPbが含有されていることがわかります。図2から、AにのみSnが含有されていることがわかります。つまり、Aははんだ中のPb、Bはチップ抵抗中のPbであることがわかります。

連続測定からのレポート 測定結果はワンクリックでEXCELへ転送されます。また、測定結果はトータルレポートで試料情報、測定日、測定結果などを一覧で確認することができます。さらに試料番号をクリックすることで測定条件、試料画像、スペクトラムまでA4形式にまとめる詳細レポートが作成され、このまま測定結果報告書としても使えます。

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