蛍光X線膜厚測定

SFT9200 シリーズ 蛍光X線膜厚計 蛍光X線を利用したメッキ厚み計です。当社の厚み計SFTシリーズの標準機と呼べる装置です。小型部品用のSFT9200、大型プリント基板用のSFT9255があり、試料と装置構造部の衝突防止機能を標準装備しています。

SFT9300 シリーズ 蛍光X線膜厚計 ハイパワーX線管球の搭載は高精度測定を実現しました。また、極微小コリメータとズーム式光学系の組み合わせにより極微小部測定を可能にしました。更には段差のある試料にも対応できます。

SFT9455 シリーズ 蛍光X線膜厚計 SFT9000シリーズの最高機種「SFT9455」は、75WハイパワーX線管とデュアル検出器（半導体検出器＋比例計数管）を搭載し、「薄膜」・「合金膜」・「極微小部測定」等のめっき膜厚測定ニーズのすべてに応える高性能膜厚計です。また、「SFT9455」はめっき膜厚測定機能に加えて、異物の定性分析や材料の成分分析にもご利用頂けます。

SFT9500 高性能蛍光X線膜厚計 X線発生系として、X線集光光学系（キャピラリ）とX線源を組み合わせ、実照射0.1mmφ以下での高輝度X線ビーム照射を可能としています。これにより、従来の蛍光Ｘ線膜厚計では照射強度不足で十分な精度が得られなかった、リードフレーム、コネクタ、フレキシブル基板等の微小・薄膜の測定に対応できるようになりました。また、高計数率、かつ高分解能の半導体検出器の搭載により、めっき製品の膜厚測定に加え、欧州RoHS、ELVで規制されている有害物質の、微小部における測定にも対応できます。

SFT9550 高性能蛍光X線膜厚計 400(X)×300(Y)×50(Z)mmの大型ステージを搭載し、大型プリント基板の測定　や 複数試料の自動測定の要求に応えます。SFT9500と同様に薄膜の高精度測定 　や環境規制物質の元素マッピングが可能です。