膜厚測定
蛍光X線膜厚計 SFT9455シリーズ

品名

蛍光X線膜厚計

型式

SFT9455シリーズ

概要 SFT9000シリーズの最高機種「SFT9455」は、75WハイパワーX線管とデュアル検出器(半導体検出器+比例計数管)を搭載し、「薄膜」・「合金膜」・「極微小部測定」等のめっき膜厚測定ニーズのすべてに応える高性能膜厚計です。また、「SFT9455」はめっき膜厚測定機能に加えて、異物の定性分析や材料の成分分析にもご利用頂けます。
特長 1.デュアル検出器(半導体検出器+比例計数管)搭載: X線のエネルギー分解能に優れた半導体検出器(液化窒素不要)と計数率に優れた比例計数管の両方を搭載し、アプリケーションに応じて使い分けできます。特に半導体検出器は、NiとCuのようなエネルギーが近接した元素をそれぞれ弁別できることから、以下の特長があります。
• Ni/CuやAu/Ni/Cuは、二次フイルターなしで測定が行えます。
• Br入りプリント板の場合は、Brの干渉を受けない高精度のAuメッキ厚測定ができます。
• 0.01μm以下の極薄Auメッキを測定できます。
2.薄膜FPソフト: 鉛フリーはんだを含む合金メッキや多層メッキ等、幅広いアプリケーションに対応できます。
3.極微小部の測定対応
15μmΦのコリメータを標準搭載し、極微小部のメッキ厚測定に威力を発揮します。
4. 75WハイパワーX線管球を搭載。
5. 微小領域の観察も容易。4段階に切り替えられるズーム機能を搭載。
6. 大型プリント基板も測定可能な大型ステージ。
7. 落射照明により従来見難かった試料を見やすく。
8. 凹凸のある試料も安心な衝突防止センサーを搭載。
9. サーボモータによる高精度ステージ駆動。
10. 正確な焦点合わせ
測定試料の焦点合わせはレーザーによりワンタッチで正確に行えます。
11. 報告書ソフト
マクロソフトにより、測定データを簡単に報告書として作成できます。
蛍光X線膜厚計 SFT9455シリーズ
 仕様
型式名 SFT9455シリーズ
測定元素 原子番号22(Ti)~ 83(Bi)
X線管 管電圧: 50kV 管電流: 1.5mA
検出器 半導体検出器+比例計数管
コリメータ 4種(0.015、0.05、0.1、0.2mmΦ)
試料観察 CCDカメラ(ズーム機能付)
焦点合わせ レーザーポインタ
フィルター 電動切替(一次: Mo、二次: Co)
X-ray Station パソコン、17インチCRT
プリンタ インクジェットプリンタ
膜厚測定ソフト 薄膜FP法、検量線法
材料分析ソフト バルクFP法
測定機能 自動測定、中心検索、画像処理
補正機能 素材補正、既知試料補正
定性機能 KLマーカー、比較表示
統計処理機能 MS-EXCEL搭載
レポート作成 MS-WORD搭載
安全機能 試料扉インターロック
試料の衝突防止機能
装置診断機能
電源 100V 15A
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