膜厚測定
蛍光X線膜厚計 SFT9300シリーズ
品名
蛍光X線膜厚計
型式
SFT9300シリーズ
概要
ハイパワーX線管球の搭載は高精度測定を実現しました。また、極微小コリメータとズーム式光学系の組み合わせにより極微小部測定を可能にしました。更には段差のある試料にも対応できます。
特長
• 75WハイパワーX線管球を搭載。
• 標準でΦ50μmの微小コリメータ搭載（最小Φ15μｍ）。
• 微小領域の観察も容易。4段階に切り替えられるズーム機能を搭載。
• 落射照明により従来見難かった試料を見やすく。
• 凹凸のある試料も安心な衝突防止センサーを搭載。
• 焦点切替機構を搭載し、高さのある試料の低い部分の測定が可能。
• サーボモータによる高精度ステージ駆動。
• レーザーフォーカス機能による簡単位置合わせ。
仕様
型式名
SFT9300シリーズ
線源
空冷式小型X線管
コリメータ
□型 0.025 x 0.2mm, 0.2 x 0.025mm
○型 0.05mm, 0.1mm, 0.2mmφ
試料表示倍率 （CRT上）
最大4倍 ズーム機構装備
試料ステージ
移動量: 220（X）x 150（Y）x 150(Z)mm
焦点距離切替機構
3段切替: 10mm, 40mm, 70mm
主なアプリケーション
多層めっき: 最大5層（各層最大10元素）
合金めっき: 最大10元素
