膜厚測定
蛍光X線膜厚計 SFT9200シリーズ

品名

蛍光X線膜厚計

型式

SFT9200シリーズ

概要 蛍光X線を利用したメッキ厚み計です。当社の厚み計SFTシリーズの標準機と呼べる装置です。小型部品用のSFT9200、大型プリント基板用のSFT9255があり、試料と装置構造部の衝突防止機能を標準装備しています。
特長 • SFT3000シリーズの後継機種。
• 落射照明により従来見難かった試料を見やすく。
• 凹凸のある試料も安心な衝突防止センサーを搭載。
• レーザーフォーカス機能による簡単位置合わせ。
• 微小領域の観察も容易。4段階に切り替えられるズーム機能を搭載(オプション)
• 焦点切替機構を搭載し、高さのある試料の低い部分の測定が可能(オプション)
SFT9200シリーズ
 仕様
型式名 SFT9200シリーズ
線源 空冷式小型X線管
コリメータ □型 0.2 x 0.05mm、0.05 x 0.2mm
○型 0.1mm, 0.2mm、0.3mmφ
試料観察 CCDカメラ
フィルタ Co: 自動切替
試料ステージ 移動量: 220(X)x 150(Y)x 150(Z)mm
X-ray Station パソコン(Windows© 2000)17インチCRT
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