| 概要 |
直径50μmの微小部の定性分析・多元素同時定量分析が可能です。X線フィルタ搭載で、WEEE&RoHS規制のCd、Pb等の有害物質も高感度で測定できます。試料観察用のCCD顕微鏡とX・Y・Z自動ステージ搭載で、極微小部の分析や元素ごとのマッピング像も表示出力可能です。さらに異物検査やメッキ膜厚計の機能も備えています。 |
| 特長 |
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Φ0.1mmコリメータを標準搭載し、微小領域の分析が可能（最小25μmΦ）
• 高分解能半導体検出器とX線フィルタを搭載し、数ppmレベルでの高感度、高精度の分析・膜厚測定が可能です。
• CCDカメラと自動ステージにより、任意の箇所の連続測定やマッピングも可能です。
• 2つのスペクトルを比較可能。異物分析が容易に行えます。
• プラスチック中の有害物質測定に必須の形状補正や厚み補正を標準装備。
• アイコンをクリックするだけで、簡単に報告書を作成できます。
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