透過電子顕微鏡/走査電子顕微鏡
GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope　ULTRA55
品名

GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope
型式

ULTRA55
概要 ULTRA55はSUPRA55をもとに新たにエネルギー角度分散反射電子検出器（EsB）を備えた電界放射型走査電子顕微鏡です。2次電子による表面構造、ならびに反射電子による組成分布を高分解能観察することが出来ます。また、新開発のEsB検出器はフィルタリンググリットと組み合わせることで検出器に入る反射電子のエネルギーを選択することができ、反射電子像の像質を大幅に改善することが出来ます。
特長 1. EsB検出器はエッジコントラストやチャージアップコントラストの影響を受けにくく、特に界面構造や析出物の観察において反射電子像と比較してより正確な計測を可能にします。
2. ULTRA55は大型のマルチポートチャンバーにX線分析器、EBSPなどの様様な分析機器を取り付け可能であり、ユーセントリック5軸ステージ、GEMINIハイカレントモードと相まって優れた分析能力を有します。
3. その他の特長
•低加速電圧での高分解能観察
•界面、析出物の測長
•組成情報の収集に有効なEsB検出器
•表面構造敏感な高感度インレンズ2次電子検出器
•短い動作距離（1mm）で反射電子像の観察が可能（EsB検出器）
•X線分析、EBSPに有効な大照射電流（20nA/0.2%/h）
•ユーセントリック5軸電動ステージ
•多様なオプション検出器：STEM検出器、試料電流検出器など
•操作性に優れたGUIベースのSmartSEM
カール ツァイス社製：GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope, ULTRA55
 仕様
分解能 1.0nm@15kV
1.7nm@1kV
4.0nm@0.1kV
倍率 12-900,000x
加速電圧 0.1-30kV
プローブ電流 4pA-20nA
電子線源 ショットキーサーマル型電界放射銃
（安定度；>0.2%/h）
標準装備検出器 高感度インレンズ2次電子検出器
チャンバーSE検出器
EsB検出器 （フィルタリンググリッド(0-1500V)付き）
AsB反射電子検出器
試料電流検出器
オプション検出器 半導体反射電子検出器
シンチレーター反射電子検出器
STEM検出器
試料室サイズ φ330mm/H270mm
5軸電動ステージ

X=130mm

Y=130mm

X=50mm

T=-3-70°

R=360

画像表示 19”XVGAモニター（1024x768pixel）液晶モニタ（オプション）
画像出力 Windows®XPで使用可能な各種プリンタ
システムコントロール SmartSEM™
PC Windows®2000またはWindows®XP
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