透過電子顕微鏡/走査電子顕微鏡
リアルタイムイオン電子顕微鏡 CrossBeamシリーズ

品名

リアルタイムイオン電子顕微鏡
型式

CrossBeamシリーズ
概要 ZEISS CrossBeamシリーズは、超高解像度、極低加速電圧のGeminiフィールドエミッション走査型電子顕微鏡（FE-SEM）にハイパフォーマンス集束イオンビーム（FIB）を搭載しており、半導体素子表面の欠陥解析、高精度TEM用試料作製、ナノ構造作製、電子ビームリソグラフィなど多彩な機能を有しています。ナノレベル試料加工、ナノイメージング、リアルタイム3Dアナリシスの3種類の機能を同時に兼ね備えた最新のナノ加工、解析装置です。
特長 1. 高精度のFIB加工中にライブでの高分解能SEM観察が可能なこと、コンパクト5チャンネルのガスインジェクションシステム、そして6軸ユー千トリック試料ステージなどを合わせ持つことで、半導体素子表面の欠陥解析、高精度TEM用試料作製、ナノ構造作製、電子ビームリソグラフィなど多彩な機能を実現しています。
2. 1540EsBに搭載されるインカラム型EsB(Energy selective Backscatter)検出器はエッジコントラスト、チャージアップコントラストの影響を最小限に抑えることが可能であり、より正確なFIB加工の判断が可能になります。
3. 6軸ユーセントリック試料ステージはウェハー細部及び全体の観察双方に適しており、インテグレートされたエアロックにより、迅速で広い範囲での試料移動を実現しました。
4. 高精度なステージと組み合わされた最新鋭のガスインジェクションシステム（5種類）は、様々なガスアシストエッチングを可能にし、また導体、絶縁体のデポジッションなど新しい可能性を提供します。
5. 1560XBはウェハーインスペクションにおいて世界中で定評のあるSupra60をベースに、8inchウエハのSEM観察、FIB加工を可能とするものです。
カール ツァイス：CrossBeamシリーズ リアルタイムイオン顕微鏡
 仕様
CrossBeam1540EsB
分解能(SEM) 1.1nm@20kV
2.5nm@1kV
分解能(FIB) 7nm@30kV
倍率(SEM) 12-900,000x（2次電子像）
100-900,000x（反射電子像）
倍率(FIB) 600-500kx（2次電子像）
エミッター(SEM) ショットキーサーマル型電界放射銃
（安定度;>0.2%/h）
加速電圧(SEM) 0.1-30kV
加速電圧(FIB) 1-30kV
プローブカレント(SEM) 4pA-20nA
プローブカレント(FIB) 1pA-50nA
標準検出器 EsB検出器
（フィルタリンググリッド(0-1500V)付き）
高感度インレンズ2次電子検出器
Everhart-Thornley2次電子検出器
5軸電動ステージ X=102mm, Y=102mm, X=43mm, T=-3-60°, R=360°
analytical working distance; 5mm
画像解像度

分解能: 3072x2304 pixel
画像表示 19”XVGAモニター（1024x768pixel）液晶モニタ
画像出力 WindowsXPで使用可能な各種プリンタ
システムコントロール SmartSEM
PC Windows®2000またはWindows®XP
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