透過電子顕微鏡/走査電子顕微鏡
FIB-SEMクロスビーム装置 AURIGA

品名	FIB-SEMクロスビーム装置

型式

概要	カールツアイス社製のフィールドエミッション走査電子顕微鏡GEMINIシリーズにFIB鏡筒を搭載した複合装置です。エネルギー選択反射電子検出器（EsB検出器）、ガス銃、チャージコンペンセータ等の多くのオプションを搭載することができます。3Dイメージングにも優れた多機能解析装置です。