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参考文献リスト |
【2000年】
論文 |
備考 |
T. Nishimura, S. Wakiyama, M. Yasutake, Y. Sugano, and N. Fujino: "Direct observation on a 12-in. silicon wafer using large atomic force microscopy", J. Vac. Sci. Technol. B, Vol.18, No.3 (2000) 1190-1193.
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12インチSiウェーハ対応SPM SPA-465を用い、Siウェハ上の様々な微小欠陥をレーザー散乱システムにより高精度に観察し、ウェーハによる結晶欠陥の違いについて論じた。 |
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