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Nano/Pico
Current AFM |
| 原理： 試料にバイアス電圧を印加し、導電性探針を通して流れる電流をI/Vアンプによって計測し、画像化します。 |
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測定した電流マッピング画像の任意の場所でIVカーブ（電流-電圧特性）を測定することが可能です。
■標準タイプ：108Ｖ/Ａアンプ
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計測範囲： 0.1nA〜100nA
電流分解能： 5ｐA RMS |
| ■低電流タイプ：1011Ｖ/Ａアンプ |
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計測範囲： 0.1ｐA〜100ｐA
電流分解能： 100fA RMS 以下 |
【Nano/Pico Current AFMの用途】
●電子デバイスなどの電気特性評価
●電子材料、強誘電体膜などのリーク電流評価（絶縁性評価） |
Nano/Pico
Current AFMの適用例 |
試料：DVD-RAM
DVD-RAMの保護層を剥がし、バイアス電圧1Vで測定した電流像。
記録マークのアモルファス相には電流が流れていません。 |
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試料：強誘電体薄膜
| 強誘電体薄膜のリーク箇所の同定 どの場所でリークしているか一目でわかります。 |
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