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マイクロ粘弾性顕微鏡
（VE-AFM：Visco-Elasticity
Atomic Force Microscopy） |
| 原理： 試料を縦振動させた際のカンチレバーのたわみ振動から粘弾性分布を画像化します。 |
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スキャナ側から試料へ加えた縦振動の入力信号が、探針先端と試料の粘弾性的な作用により、出力信号としてカンチレバーのたわみ振動と試料の変形振動とに分配されます。試料が硬ければ、試料変形が少ない分、カンチレバー振動が大きくなります。試料が軟らかければ、試料変形振動が誘起され、カンチレバー振動は小さくなります。
【VE-AFMの用途】
●高分子、金属材料、無機材料などの表面の粘弾性マッピング
●温度スウィープにおける表面転移計測 |
マイクロ粘弾性顕微鏡（VE-AFM：Visco-Elasticity
Atomic Force Microscopy）の適用例 |
ポリスチレン上のシリコン系油膜の粘弾性分布測定
| 形状像 |
粘弾性像 |
（約10µm） |
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塗膜が分散したポリスチレンフィルムの粘弾性分布測定
| 形状像 |
粘弾性像 |
（約7µm）
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