(a) DFMモード |
(b) SISモード |
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Fig.1
DFMモードとSISモードの比較 |
Fig.2 SISモードの動作
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SISモード（ステーション）では、DFMと同様のレバー振動を行なわせながら、データ取得時のみ探針を接触させているので、従来のDFMモードに比べて接触回数が桁違いに小さく、探針磨耗が軽減されます。また吸着や変形の大きい試料でも、安定な観察が期待できます。特にCNTプローブとクローズド・ループ・スキャナを併用することにより、従来は困難であった、ハイアスペクト形状の高精度な観察や測長が行なえます。(1)
SISモードの動作
● データ取得時のみ探針を接近 させ、位置情報を取得
● データ取得時以外は、探針を試料上空に待避 （摩耗軽減）
● 探針の移動時、試料と衝突しそうな場合、走査速度を減速 し、探針を試料上空に退避 （カンチレバーの保護）
※左の動作説明動画では、試料表面をまばらにスキャンしているように見えますが、これは原理説明のためです。実際の解像度（ピクセル数）はDFMモードと同様です。
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