走査型プローブ顕微鏡(SPM)

フォースカーブ:DFM(Force Curve)

フォースカーブとは、探針・試料間の距離の上限・下限を設定して定点を上下動させ、探針・試料間の距離とカンチレバーに働く力(振幅減衰量)との関係をプロットした曲線。DFM（ダイナミック；フォース）測定モードでは、探針・試料間を近づけていくと、原子間力等の相互作用によりカンチレバーの振動振幅(Amplitude)は徐々に小さくなる。探針・試料間の距離が接触し始める程度まで近づくと、近距離力が急激に作用し、振動振幅も急に小さくなる。DFMではこの近距離力が大きく作用し始めたときの振幅を動作点として測定する。