走査型プローブ顕微鏡(SPM)

フォースカーブ:AFM (Force Curve)

フォースカーブとは、探針・試料間の距離の上限・下限を設定して定点を上下動させ、探針・試料間の距離とカンチレバーに働く力(カンチレバーのたわみ量)との関係をプロットした曲線。AFM（原子間力顕微鏡）測定モードでは、フォースカーブを測定することにより引力・吸着力・試料の硬さ等の相互作用を見ることができる。 AFMのフォースカーブ測定では、探針・試料間の距離が数nm〜数十nmまで近づくと、はじめに引力が作用し次に斥力が作用する。さらに押し上げて、カンチレバーが上へたわんだ後離していくと、吸着力が作用して下へのたわみが発生する。そのたわみによる力が吸着力を超えたとき、カンチレバーは水平な位置へ戻る。