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走査型プローブ顕微鏡(SPM)
SPM用語集
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FFM信号 (FFM Signal)
FFM信号とは、
カンチレバー
の横方向の変位(ねじれを検出)に対応した信号。
光検出器
の左右領域に入る光量に対応する信号の差分’[＝(A+C)-(B+D)]である(下図参照)。
光ヘッド部の構造（光てこ方式）
関連用語 ≫
光検出器(フォトディテクタ)
、
ADD信号
、
DIF信号
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