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走査型プローブ顕微鏡(SPM)
SPM用語集
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微動機構(Fine Positioning Mechanism)
微動機構とは、
SPM（走査型プローブ顕微鏡）
において、測定のために試料(あるいは
探針
)を走査させる機構。
PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)
を用いた
圧電素子
を組み込んだ
スキャナ
が一般的である。
関連用語 ≫
スキャナ
、
圧電素子
、
PZT
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