走査型プローブ顕微鏡(SPM)

リニアライズ(Linearize)

リニアライズとは、SPM（走査型プローブ顕微鏡）のスキャナに使用している圧電素子のヒステリシス特性を補正して、正確に測定するために行う校正のこと。当社のSPMでは、XY面内のヒステリシス特性をスキャナ毎に測定し、リニアライズの最適なパラメータを求めて出荷している。通常、スキャナ毎に最適なパラメータは異なるので、スキャナとスキャナテーブルは必ず対応させる必要がある。圧電定数はわずかではあるが経年変化するため、高い測定精度(誤差1〜2％以下)が必要な場合は年に1回程度グレーティングなどの校正用試料を用いて確認する方が良い。このとき、もし測定誤差が大きければ、リニアライズ係数を調整して精度を確保する。