走査型プローブ顕微鏡(SPM)

ヒステリシス(Hysteresis)

圧電素子は電圧が印加されることにより変位するが、印加電圧が小さいときより大きいときの方が単位電圧当たりの移動距離が大きいという特性を持つ。これがヒステリシスである。この特性により、圧電素子を使用しているSPM（走査型プローブ顕微鏡）のスキャナでは変位-電圧特性が非線形となる。このため、工場出荷時にスキャナ毎に校正(リニアライズ)し、非線形性を補正している。ただし、圧電定数はわずかではあるが経年変化するため、高い測定精度(誤差1〜2％以下)が必要な場合は年に1回程度グレーティングなどの校正用試料を用いて確認する方が良い。このとき、もし測定誤差が大きければ、リニアライズ係数を調整して精度を確保する。