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SPM用語集 |
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PZT(チタン酸ジルコン酸鉛 [Pb(Zr,Ti)]: Lead Titanate Zirconate) |
PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)とは、圧電セラミックスの一種。SPM（走査型プローブ顕微鏡）のスキャナに組み込まれる圧電素子の材料として一般に使用されている。PZTの圧電定数(ひずみ/電界)は0.1〜数nm/V程度であり、そのままスキャナに使用するには変位が小さい。このため、できるだけ低い印加電圧で大きな変位が得られるよう、板状の圧電材料のそりを利用したバイモルフ型(曲げ方向)や、薄く加工した圧電材料を電極と交互に積層して一体化した積層型(伸縮方向)等の構造が開発されている。
| 【SPMのスキャナに使用した場合の長所】 |
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•電気的に駆動しやすい。
•応答が早い。
•駆動力が大きい。
• 変換効率が高い。
• 磁場を伴わない。 |
| 【SPMのスキャナに使用した場合の短所】 |
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•変位−電圧特性にヒステリシスやクリープ現象がある。
•若干の経年変化がある。
• リニアライズが必要。
• 可動範囲が狭い。 |
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関連用語 ≫ |
圧電素子、ヒステリシス、クリープ、リニアライズ、リニアライズ係数 |
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