一般のSPM（走査型プローブ顕微鏡）で使用するスキャナは円筒形をしており、これをチューブ型スキャナと呼ぶ。スキャナ自身が緩やかな円弧運動をすることで、試料(あるいは探針)を走査する構造になっている。従って、非常に平らな表面を大きいエリアで測定すると、すり鉢状の歪み(数nm〜数十nm)が生じることがある。これらの歪みは、測定データを2次または3次曲面でフィッティングした傾き補正することによって緩和できる。
関連用語 ≫ スキャナ、圧電素子、PZT
