走査型プローブ顕微鏡(SPM)

PRM (圧電応答顕微鏡：Piezo-Response Microscope)

PRM (圧電応答顕微鏡）では、探針試料間に交流電圧を印加し、強誘電体試料の圧電効果により生じる歪み分布をカンチレバーの変位としてロックインアンプで計測し、AFM（原子間力顕微鏡）形状像と同時に圧電応答分布を画像化する。