ベクタスキャンとは、イメージデータを測定するときのような一様な走査(XYラスタスキャン；Raster Scan)ではなく、方向や移動量等をプログラムによって任意に指定して走査させる機能。力や電圧のかけ方等を合わせてプログラムすることで、試料表面の加工等に用いることができる。
