走査型プローブ顕微鏡(SPM)

ナノインデンテーション(硬度測定：Nano Indentation)

ナノインデンテーション(硬度測定）とは、探針で試料をインデントした際の荷重−変位曲線を測定し、硬度と弾性率を計測すること。また、スクラッチ計測や磨耗テストも可能である。