走査型プローブ顕微鏡(SPM)

温度スウィープマッピング(Temperature Sweep Mapping)

事前に設定した条件に従って、試料を昇温しながらその過程で自動的にSPM（走査型プローブ顕微鏡）測定を行う。各温度における形状像や物性像から解析エリアを指定することにより、任意箇所での温度に対する物性変化を一括して自動グラフ化する機能も持っている。FFM（摩擦力顕微鏡）、VE-AFM（マイクロ粘弾性AFM）、PM（フェーズモード：位相測定）の各種モードに対応している。