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SPM用語集 |
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SNOM (走査型近接場光学顕微鏡：Scanning Near Field Optical Microscope) |
SNOM (走査型近接場光学顕微鏡）とは、試料表面の光学的な情報を得るSPM（走査型プローブ顕微鏡）の総称。探針・試料間を約100nm以下の領域まで接近させたときに散乱するエバネッセント光を集光して、回折限界を超える分解能を実現している。光ファイバにより作製されたストレート型のプローブを用いて、試料表面に対して水平方向にプローブを加振しながら距離制御を行うシェアフォース制御方式が一般に用いられている。
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関連用語 ≫ SNOAM
同義語 ≫ NSOM、走査型近視野光学顕微鏡
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