STM/CITS とは、STM（走査型トンネル顕微鏡）で形状観察をしながらI/Vカーブを各ポイントで測定しマッピングする、SPM（走査型プローブ顕微鏡）測定モードの一種。STMの拡張機能である。任意のバイアス電圧レベルでの電流像の表示が可能。
