SMM(表面電位顕微鏡/マックスウェル応力顕微鏡）とは、表面電位分布を測定するSPM（走査型プローブ顕微鏡）の測定モードの一種。カンチレバーと試料の間に交流および直流の合成電界を作用させ、そのときの静電気力によるカンチレバー振動の応答から試料の微小領域の表面電位を検出し画像化する。
