VE-AFM（マイクロ粘弾性AFM）とは、AFM（原子間力顕微鏡）動作中に粘弾性分布を測定する、SPM（走査型プローブ顕微鏡）の測定モードの一種。試料をZ方向に微小振動させて周期的な力を加えながら、カンチレバーのたわみ振幅とsin・cos成分を画像化する。
