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SPM用語集 |
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フェーズモードとは、DFM(ダイナミック・フォース・モード）測定中に表面物性の違いを同時測定する、SPM(走査型プローブ顕微鏡）の測定モードの一種。試料の表面物性が異なるとき、探針・試料間に生じる様々な相互作用の影響を受けてカンチレバー振動の位相が変化する。この位相変化を画像化して、表面物性の分布像を得る。
| 【特徴】 |
◆試料の組成による吸着力の差や粘弾性等の、カンチレバー振動の位相変化を引き起こす表面物性の違いによる分布像が、容易に得られる。 |
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◆形状像と同時に測定できる。 |
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◆帯電している試料、柔らかい試料、または吸着力の強い試料の測定に有利なDFMの利点がそのまま活かせる。 |
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