走査型プローブ顕微鏡(SPM)

DFM(ダイナミックフォースモード；Dynamic Force Mode/Microscope)

DFM（ダイナミックフォースモード）とは、共振させたカンチレバーの振動振幅が一定になるように探針・試料間の距離を制御しながら走査することにより、表面形状を画像化するSPM（走査型プローブ顕微鏡）の一種。