SISモード（サンプリング・インテリジェント・スキャンモード）は、探針走査の影響（ひきずりや変形など）、水平方向の相互作用影響を受けない測定を実現し、従来のSPMの課題を解決しました。これにより、凹凸や吸着が大きな試料や軟らかい試料などの安定した測定が可能になりました。また、電流測定モードでは、試料が軟らかい場合でも試料を壊さずに安定した形状像と電流像の測定を可能とし、位相モードでは走査による形状の影響（アーティファクト）を受けず、優れた物性マッピングが可能となりました。