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 走査型プローブ顕微鏡（SPM）

 全7製品 

原子間力顕微鏡（AFM）から発展した走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、いまや表面形状の観察にとどまらず、摩擦力や磁気力といった表面物性の測定やナノオーダーでの加工まで、その用途を広げています。
SIIナノテクでは、幅広いニーズにお応えできる製品を取り揃えております。装置写真または製品名をクリックすると詳細をご覧いただけます。

→ ステーション（コントローラー） → ユニット（測定部）
→ 測定モードオプション → 部品オプション


【ステーション（コントローラー）】

  NEW
SPI4000 NanoNaviReal
プローブステーション
多様化する最新SPM技術に対応するため、操作性や計測機能を大幅に向上させた、ハイエンド仕様の次世代コントロールステーションです。
  JIS SIS アクティブQ CL
NanoNaviReal　プローブステーション
  NEW
SPI4000 NanoNaviReal s
spacer プローブステーション
spacer 最新のSPM技術に対応する、Nanocute専用の次世代小型コントロールステーションです。
  JIS 低価格
プローブステーション　NanoNaviReal s

【ユニット（測定部）】

SPI4000 Nanocute SS
汎用小型ユニット
手軽な操作を実現する高分解能センサー内蔵型レバーを搭載した汎用小型SPM
  自己検知  低価格
AFM/SPM 汎用小型ユニット Nanocute SS
SPI4000 Nanocute OP
汎用小型ユニット
多機能測定に対応した光てこ方式の高分解能小型SPM
  LD 溶液  低価格
AFM/SPM 汎用小型ユニット Nanocute OP
SPA-400 S-image
多機能型ユニット
大気中、液中で簡便に高分解能観察を行うことができる小型汎用多機能型ユニットです。低コヒーレント光学系や熱源抑制構造の採用等により、更なる高分解能化、低ドリフト化、光干渉の低減化を実現しています。
  SLD 低ドリフト 溶液
多機能型ユニット S-image （AFM/MFM/STM/KFMなど）
SPA-400 E-sweep
環境制御型ユニット
大気中、真空中、溶液中など、様々な測定環境に対応した環境制御型プローブ顕微鏡（SPM）です。従来の様々な温度環境における物質表面の形状や物性の観察に加え、連続的に温度が変化する過程における表面物性の変化を定量的に評価する表面転移温度モニター機能を使用することができます。
  SLD 低ドリフト 溶液 真空 温度
AFM/SPM 環境制御型ユニット E-sweep
SPA-460/465 L-traceⅡ
大型ステージユニット
最大6インチ（8インチ）φの試料に対応し、かつその全自動多点測定が可能な、大型試料対応ユニットです。Accurateスキャナと低コヒーレント光学系の採用により、ナノオーダーの形状をより高い精度で計測します。
  SLD 6/8インチ 自動交換
クローズドループスキャナ搭載 大型ステージユニット L-traceⅡ

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【測定モードオプション】

<基本モード>

→
 走査型トンネル顕微鏡(STM)
→
 AFM-SIS
→
 DFM-SIS    

<機械的物性モード>

→
 横振動摩擦力顕微鏡(LM-FFM)
→
 マイクロ粘弾性顕微鏡(VE-AFM)
spacer→
 吸着力顕微鏡（Adhesion）
→
 ナノサーマル顕微鏡

spacer→

 ナノインデンター

→

 フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア

<電磁気物性モード>

→
 Nano/Pico Current AFM
→
 広がり抵抗顕微鏡(SSRM)
→

非線形誘電率顕微鏡(SNDM)
→
 圧電応答顕微鏡(PRM)
→

表面電位顕微鏡(KFM)

    

【部品オプション】

→
 Active Q （Q値制御：Q-control）
→
 外部磁場印加
→
 小型SPM用大気加熱試料台
→
 クローズドループスキャナ
（CL-110S）
→
 E-sweep用クローズドループスキャナ
→
 密封型環境制御セル
→
 嵩上げブロック対応兼用顕微鏡
→
 50mm角試料用嵩上げブロック
→
 加熱兼用嵩上げブロック（10mm）
→
 ネジ式シャーレセル
→
 液温制御モジュール
→
 シグナルアクセスモジュール
→
 外部バイアス導入ケーブル    

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