NanoNaviステーション プローブステーション 走査型プローブ顕微鏡（SPM）をコントロールするためのステーションです。 クローズドループスキャナ、SISモードなどの最新機能への対応により、高分解能な測定を可能にしました。ナビゲーション機能、自動測定機能の充実により、使いやすさも向上しました。   *NanoNaviステーション特集ページへ

SPI3800N プローブステーション 走査型プローブ顕微鏡（SPM）をコントロールするためのステーションです。システムの制御や解析を行うプローブステーションに要求される高分解能、高速性、そして使い易さの全てを兼ね備えたプローブステーションです。

S-image 多機能型ユニット 大気中、液中で簡便に高分解能観察を行うことができる小型汎用多機能型ユニットです。更に低コヒーレント光学系の採用、熱源の抑制化により更なる高分解能化、低ドリフト化、光干渉の低減化を実現した高分解能多機能型ユニットです。

SPA-400 多機能型ユニット 多機能型ユニットSPA-400は、原子間力顕微鏡（AFM）・磁気力顕微鏡（MFM）を標準装備しています。オプションとして表面電位（KFM）･マイクロ粘弾性（VE-AFM）･走査型トンネル顕微鏡（STM）などの多機能測定をカンチレバーホルダーの交換により簡単に、おこなうことができます。

E-sweep 環境制御型ユニット 大気中、真空中、溶液中など、様々な測定環境に対応した環境制御型プローブ顕微鏡（SPM）です。従来の様々な温度環境における物質表面の形状や物性の観察に加え、連続的に温度が変化する過程における表面物性の変化を定量的に評価する表面転移温度モニター機能を搭載しています。

SPA-300HV 環境制御型ユニット 大気中、真空中、溶液中など、様々な測定環境に対応した環境制御型プローブ顕微鏡（SPM）ユニットです。カンチレバーと試料のみを真空下にセットすることができます。10-5Paまでの真空中においてSPM動作が可能で、試料の加熱・冷却等の用途に最適です。基本操作は大気ユニットと同一です。

L-traceⅡ 大型ステージユニット 全自動多点測定が可能な6インチ（8インチ）まで対応可能な大型試料対応ユニットです。更にアキュレートスキャナと低コヒーレント光学系の採用により、ナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します。

SPA-460/465 レビューAFMユニット 200~300mmウェーハ上の0.08μmレベルの異物等の位置を短時間で検出できるレビューAFMユニットです。座標リンケージ機能とレーザー散乱による超高精度位置決め機能をAFMに組み合わせることで微小異物や欠陥を観察出来ます。