| 概要 |
200~300mmウェーハ上の0.08μmレベルの異物等の位置を短時間で検出できるレビューAFMユニットです。座標リンケージ機能とレーザー散乱による超高精度位置決め機能をAFMに組み合わせることで微小異物や欠陥を観察出来ます。 |
| 特長 |
1.
300nmウエハー対応のSPA-465システムもラインナップに加わりました。試料搬送機構が組みこまれていますので、C
to Cでの観察が可能です。
2. 光学式異物・欠陥検査装置との座標のリンケージが行なえ、かつ専用のソフトウエアの使用により、簡便に特定異物のレビューが行なえます。
3. 内蔵の暗視野レーザー光散乱装置により、直径0.08μmレベルの微小異物の光散乱像が得られ、この像をもとにAFM装置と高精度での位置合わせが可能です。 |
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