| 検出系 |
光てこ方式
自己検知方式（オプション） |
| 光学系 |
低コヒーレント光学系 |
| 走査系 |
3軸センサー内蔵クローズドループスキャナ（オプション） |
| 分解能 |
原子分解能 |
| ドリフト |
0.01nm/sec以下 |
| 試料サイズ |
最大35mmφ、厚み10mm |
| 試料移動機構 |
X-Yステージ（5ｍｍ）
インパクトステージ（オプション） |
| 光学顕微鏡（オプション） |
金属顕微鏡（微分干渉対応）
光学顕微鏡
ズーム顕微鏡
簡易顕微鏡 |
| 走査範囲 |
20µｍ（標準）、150µｍ（オプション） |
| 機能 |
AFM, FFM, DFM, PM（標準）
SIS, LM-FFM, VE, Adhesion, CURRENT, SSRM, SNDM, PRM, KFM, SMM, EC（オプション） |
| その他 |
レシピ登録自動測定機能
SISモード対応（オプション）
探針評価機能（オプション） |
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