走査型プローブ顕微鏡（SPM）
プローブステーション NanoNavi ステーション
品名
プローブステーション
型式
NanoNavi ステーション
概要
クローズドループスキャナ、SISモードなどの最新機能への対応により、高分解能な測定を可能にしたプローブステーションです。ナビゲーション機能、自動測定機能の充実により、使いやすさも向上しました。
特長
1. 当社独自のスキャン方法であるSISモード搭載により、従来測定が難しいとされていた、開口部の狭い（50nm以下）サンプルやアスペクト比の高いサンプルなど深い溝や狭い溝の測定が可能になりました。このＳＩＳモードとカーボンナノプローブとを組み合わせることにより高アスペクトサンプルへの対応が可能です。 2. クローズドループスキャナ機能への対応により、従来補正をかけていた観察像の歪みの原因となるヒステリシス、クリープの影響を低減し、微小計測・微小加工の分野における精度の飛躍的な向上を実現しました。 3. 最新のPC制御による測定ナビゲーション機能の搭載により、使いやすさが向上しました。 4. レシピ測定機能により、スキャナの最大走査範囲内での多点自動測定が可能になりました。 ルーチンワークの測定でも条件設定後の再現性測定でも手間に感じず測定をおこなえるようになりました。
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仕様
X・Y走査電圧
±200V/18bit
Z走査電圧
±200V/21bit
オートゲインコントロール
標準搭載
同時測定
8192×8192ピクセル
同時4ch測定
スキャンローテーション
±180°(0.1°ステップ)
OS
Windows®XP
ソフトウェア
・測定機能
・データ 補正機能
・三次元表示機能
・データ解析機能
・データ解析バッチ処理機能
・粒子解析機能
・自動レシピ測定機能
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