半導体製造支援ソフトウェア
マスクルールチェッカー SmartMRC

品名	マスクルールチェッカー

型式

概要	マスクルールチェック専用ツールとしてマスク描画データに対してマスク製造の事前チェックを行うことにより、マスク製造欠陥、マスク検査擬似欠陥を抑制しマスクコスト増大抑制、納期短期化を支援し、マスク歩留まり向上に貢献します