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SmartMRC  |
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マスクルールチェッカー |
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マスクルールチェック専用ツールとしてマスク描画データに対してマスク製造の事前チェックを行うことによりマスク製造欠陥、マスク検査擬似欠陥を抑制しマスクコスト増大抑制、納期短期化を支援し、マスク歩留まり向上に貢献します。 |
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SmartOASIS |
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オアシスデータハンドリングツール |
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LSIの高機能化・高集積化、特に微細化に伴うOPC処理により、GDSフォーマットの設計データおよびマスクデータは増大の一途をたどっており、データハンドリング時間、データストレージ量の増大、データ転送時間などの問題が深刻になってきています。SmartOASISでは、GDSデータのOASIS移行および移行後のデータチェックを行なうことができ、データ量増大に伴う問題を解決します。 |
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HOTSCOPE |
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半導体製造支援ソフトウェア |
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微細化／高集積化が進む大規模LSIのレイアウトデータやフォトマスクデータは、設計時には存在しないダミーパターンや、複雑なOPC処理等の加工により、設計時の数倍から数百倍規模のデータ量にもなります。
HOTSCOPEにはこのようなギガバイトを超える大規模なレイアウトデータ、フォトマスクデータを表示倍率に関わらず高速に、しかも高品質、高精細に表示する事で、大規模LSIデータのチェック効率を大幅に向上させるパターン表示ツールです。 |
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開発元：DNP
Dai Nippon Printing |
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