SPM型フォトマスクリペア装置 SPR6300

品名	SPM型フォトマスクリペア装置 SPR6300

型式

概要	SPR6300は、長年にわたりご好評を頂いている走査型プローブ顕微鏡の技術と、集束イオンビーム（FIB)を用いたフォトマスクリペア装置の技術を融合し、AFM方式を用いたSPM型のフォトマスクリペア装置です。