高速・高精度測定を可能とし、レアメタルやレアアースの高精度な測定に不可欠な400nm台の高分解能測定、省エネ設計をコンセプトに開発された装置です。新開発のハイパーダイレクトドライブと卓越した制御テクノロジーが高精度な測定を可能としました。