ナノ加工顕微鏡システム SMI500データギャラリー

セラミックコンデンサの加工観察

セラミックコンデンサーの加工観察

試料名:

積層セラミックコンデンサ

観察内容:

ダイシングソーで切断した断面をFIBで仕上げ加工し、観察しています。電極部分はNiのグレインが明瞭に観察できます。誘電体部分は、帯電効果により電極部分に対して明瞭なコントラストがついています。色調を調整することでチタン酸バリウムのセラミック粒と思われる構造も観察できています。