ナノ加工顕微鏡システム SMI500データギャラリー

貫通穴の加工

試料名:	モリブデン
観察内容:	放電加工では被加工物が堆積しているのに対し、FIBでの加工では堆積が見られませんでした。さらに追加工を行うことで内壁をきれいに仕上げることができます。