[集束イオンビーム（FIB）] アプリケーション｜エスアイアイ・ナノテクノロジー

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集束イオンビーム(FIB)

アプリケーション

集束イオンビーム(FIB)の観察事例をご紹介しています。

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【アプリケーションブリーフ】

SMI No.12
SIM像の特徴

SMI No.11
FIBによる断面加工・観察技術

SMI No.10
ナノピンセットシステムによるTEM観察用試料のIn-situ試料ハンドリング

SMI No.09
ArBIDを用いたフォトレジストの試料作製と観察

SMI No.08
厚み管理ソフトの紹介

SMI No.07
Pbフリーメッキ銅リードフレーム上に成長したすずウィスカの基板界面構造解析

SMI No.06
斜め加工によるTEM試料作製

SMI No.05
トリプルビーム装置によるFIBダメージ層除去

SMI No.04
HRTEM観察用新型メッシュ“ナノメッシュ”の紹介

SMI No.03
最新デバイスのSIM像断面

SMI No.02
Cut&See Proの紹介

SMI No.01
EガスとAutoBitmapソフトウェアを用いたLSI平坦化加工テクニック

【パワーポイント資料】

1. 3Dナノ構造物の作成

2. FIBによる微細加工

3. マルチガスシステムの応用

4. 高倍率の観察

5. 低加速モード加工

6. 精密金型作製への応用

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