高性能FIBとカールツアイスNTS社製GEMINI FE-SEMを組み合わせた300mmFabに対応したFIB-SEM複合装置です。

小片試料から200mmウエーハまで幅広い試料サイズに対応できるシリーズです。

GEMINI鏡筒にFIB鏡筒を搭載した分析解析用のFIB/SEM複合装置。断面リアルタイムSEMモニタリングが可能。

世界最高水準のSIM分解能を誇る高性能集束イオンビーム（FIB)装置です。

50mmステージ搭載のFIB-SEM複合装置です。世界最高分解能4nmを実現したFIBと、半導体デバイスなどの観察に最適化された高分解能FE-SEMを装着したダブルビーム装置です。電流密度を飛躍的に向上させ、加工時間を大幅に短縮しました。

デバイス裏面解析／平坦化サンプルにおけるFIB加工位置決めに大変有効なツールです。赤外観察への対応により、デバイス裏面からSi基盤を透過してデバイス観察が可能です。欠陥検査装置で特定された欠陥位置に対して、本システムのレーザーマーキング、および座標リンケージ機能を用いることで、これらの欠陥位置をSMIシリーズで容易に特定することが可能です。