集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
FIB-SEM複合装置、トリプルビーム装置 XVision 300 シリーズ

品名	FIB-SEM複合装置、トリプルビーム装置

型式	XVision 300 シリーズ

概要	高性能FIBとカールツアイスNTS社製GEMINI FE-SEMをコンバインした300mmFabに対応したFIB-SEM複合装置です。要素プロセス中の解析、製品試作・ウエーハプロセス解析、量産解析、故障原因究明解析など、幅広い用途で威力を発揮します。欠陥検査装置とのリンケージ、低加速仕上げ加工までを自動で行うTEM試料作製ソフトウェアなど、徹底した自動化を進めた装置です。(※トリプルビームは、SIIナノテクの登録商標です。)