集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 XVision 300 シリーズ

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品名

FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置

型式

XVision 300 シリーズ

概要 SMI3000シリーズを基本とする高性能自動化プラットフォームに、SIIナノテク製新型イオンビーム鏡筒と、世界最高水準のSEM像分解能を誇るCarl Zeiss社製のGemini電子顕微鏡筒を搭載し、従来製品に比べてよりダメージ少なく高精度な加工と、3nmの高い分解能によるSEM観察を実現しました。
FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 XVision 300 シリーズ