集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 XVision 300 シリーズ

品名	FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置

型式	XVision 300 シリーズ

概要	SMI3000シリーズを基本とする高性能自動化プラットフォームに、SIIナノテク製新型イオンビーム鏡筒と、世界最高水準のSEM像分解能を誇るCarl Zeiss社製のGemini電子顕微鏡筒を搭載し、従来製品に比べてよりダメージ少なく高精度な加工と、3nmの高い分解能によるSEM観察を実現しました。