| 型式 |
XVision 200DB, XVision 200DBS, XVision 200TB, XVision 200TBS |
| 概要 |
小片試料から200mmウエーハまで幅広い試料サイズに対応できるシリーズです。FIBとSEMを搭載したFIB-SEM複合装置と、ダメージ除去用に極低加速Ar鏡筒をプラスしたSIIナノテク独自のトリプルビーム装置の2種類をラインナップ。高品位TEM試料作製、Cut&Seeリアルタイム高分解能観察や3D解析、EDS分析など幅広いアプリケーションに対応したシリーズです。(※トリプルビームは、SIIナノテクの登録商標です。)
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