集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 XVision 200 シリーズ

品名	FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置

型式	XVision 200DB, XVision 200TB

概要	200mmウェーハから複数の小片サンプルまで、様々なアプリケーションに用いることのできる装置です。トリプルビーム装置は3つのビームが試料の同一位置に照射されるため、試料断面をSEMで観察しながら極低加速ArイオンビームでFIB加工中に生じたダメージを除去したり、数nmレベルの均一なミリングを可能にした世界唯一のシリーズです。