集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
レーザーマーキング機能付赤外観察光学顕微鏡 SOM3355-IR

品名	レーザーマーキング機能付赤外観察光学顕微鏡

型式	SOM3355-IR

概要	デバイス裏面解析／平坦化サンプルにおけるFIB加工位置決めに大変有効なツールです。赤外観察への対応により、デバイス裏面からSi基盤を透過してデバイス観察が可能です。欠陥検査装置で特定された欠陥位置に対して、本システムのレーザーマーキング、および座標リンケージ機能を用いることで、これらの欠陥位置をSMIシリーズで容易に特定することが可能です。