集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
ナノ加工顕微鏡システム SMI500

品名	ナノ加工顕微鏡システム

型式

概要	簡単・手軽・省スペースをキーワードに低価格FIB装置を実現しました。イオンミリング法や研磨法などでは加工が難しい「特定箇所を狙った平滑な断面作製」が簡単に行えます。豊富な加工モードを搭載しているため、ミクロン～ナノオーダーのパターニングや微細金型などの高精度加工も簡単に行えます。また、高分解能の二次電子像（SIM像）が取得できるため、加工した断面の形状観察、グレイン・組成コントラストの取得、異物や接合界面等の状態観察などに威力を発揮します。