集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
高性能集束イオンビーム装置 SMI4050

品名	高性能集束イオンビーム装置

型式

概要	新型光学系搭載により、世界最高水準のSIM像分解能・大電流対応による加工スピードの向上・低加速電圧観察時の分解能向上による更に高品位なTEM試料作製を実現した、高性能集束イオンビーム（FIB)装置です。断面加工観察、高品位TEM試料作製、回路修正、ベクタースキャン加工、ミクロン～ナノスケールの微細パターニングやナノ金型加工、デポジションによる３次元構造物の作製など、多種多様なサンプルとアプリケーションを実現します。