集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
FIB-SEM複合装置 SMI3050SE

品名	FIB-SEM複合装置

型式

概要	50mmステージ搭載のFIB-SEM複合装置です。世界最高分解能4nmを実現したFIBと半導体デバイスなどの観察に最適化された高分解能FE-SEMを装着したダブルビーム装置です。電流密度を飛躍的に向上させ、加工時間を大幅に短縮しました。